Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Weber, Christian ; Wendler, Frank ; Tahedl, Markus ; Kanoun, Olfa
2D-Modellierung des Einflusses leitfähiger Schichten auf die Sensorimpedanz bei kapazitiven Sensoren
2D-Modelling of the influence of conductive layers on capacitive sensors
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mess- und Sensortechnik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | Online ISSN: 2196-7113 ; Print ISSN: 0171-8096 | |
DOI: | doi:10.1515/teme-2014-1038 | |
Quelle: | In: tm - Technisches Messen. - 81 . 2014, 9, S. 442 - 449 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | Impedanzsensoren , kapazitive Sensoren , Schichtdetektion , analytische Modellierung , FEM-Modellierung | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Impedance sensors , capacitive sensors , layer detection , analytical modelling , FEM modelling |