Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Melzer, M. ; Makarov, D. ; Bahr, F. ; Hofmann, W. ; Schmidt, Oliver G. ; Zerna, T. ; Ernst, D.
Packaging technologies for (Ultra-)thin sensor applications in active magnetic bearings
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Materialsysteme der Nanoelektronik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ISSE.2014.6887577 | |
| Quelle: | In: IEEE Xplore. 2014, S. 125 - 129 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Bismuth , Electric shock , Polyimides , Reliability , Stators , Temperature sensors , Vibrations |
