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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Masser, Robin ; Bräuer, Jörg ; Gessner, Thomas

Modelling the reaction behavior in reactive multilayer systems on substrates used for wafer bonding


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 0021-8979 (print), 1089-7550 (online)
URL/URN: doi:10.1063/1.4885457
Quelle: In: Journal of Applied Physics . - 115 . 2014 , 244311-1 - 244311-7
Freie Schlagwörter (Englisch): wafer bonding,

 

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