Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dhakal, Dileep ; Waechtler, Thomas ; E. Schulz, Stefan ; Gessner, Thomas ; Lang, Heinrich ; Mothes, Robert ; Tuchscherer, Andre
Surface chemistry of a Cu(I) beta-diketonate precursor and the atomic layer deposition of Cu2O on SiO2 studied by x-ray photoelectron spectroscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | E-ISSN: 1520-8559 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1116/1.4878815 | |
| Quelle: | Journal of Vacuum Science and Technology A. - 32. 2014, 4, S. 0415051 - 0415059 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Atomlagenabscheidung , Kupferoxide , Oberflächenchemie | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Atomic force microscopy (AFM) , Atomic layer deposition (ALD) , Atomic concentration , Copper oxide , Cu(I) Beta-diketonate, Cu precursor , In-situ X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) , Surface chemistry , Thermal disproportionation , Auger parameter |
