Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried ; Günther, Matthias ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Berg, Sania ; Zahn, Dietrich R. T. ; Seyller, Thomas
Experimental analysis of the thermal annealing of hard a-C:H films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Experimentalphysik mit dem Schwerpunkt Technische Physik | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0925-9635 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2014.03.005 | |
| Quelle: | In: Diamond and Related Materials . - 45 . 2014 , S. 43 - 57 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Amorphous hydrogenated carbon , Diamond-like carbon , Thermal stability , Thickness increase , Microstructure , Mechanical properties |
