Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Saupe, Ray ; Seider, Thomas ; Stock, Volker ; Kujawski, O. ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Optimization of biogas production using MEMS based near infrared inline-sensor
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
URL/URN: | doi:10.1117/12.2008183 | |
Quelle: | MOEMS and Miniaturized Systems XII, 4 –6 February 2013, San Francisco, California, United States, (part of SPIE Photonics West), Proceedings of SPIE Vol. 8616 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS-based analyzer , MEMS sensor system |