Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Georgi, Colin ; Hildebrandt, Alexander ; Tuchscherer, Andre ; Oswald, Steffen ; Lang, Heinrich
Hexacarbonyl (Trimethylsilyl Ethyne) Dicobalt as MOCVD Precursor for Thin Cobalt Layer Formation
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Anorganische Chemie | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 1521-3749 | |
URL/URN: | doi:10.1002/zaac.201300292 | |
Quelle: | In: Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. - 639. 2013, 14, S. 2532 - 2535 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Vapor pressure , Chemical vapor deposition , Cobalt , Thin films , Thermogravimetry |