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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Georgi, Colin ; Hildebrandt, Alexander ; Tuchscherer, Andre ; Oswald, Steffen ; Lang, Heinrich

Hexacarbonyl (Trimethylsilyl Ethyne) Dicobalt as MOCVD Precursor for Thin Cobalt Layer Formation


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Anorganische Chemie
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 1521-3749
URL/URN: doi:10.1002/zaac.201300292
Quelle: In: Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. - 639. 2013, 14, S. 2532 - 2535
Freie Schlagwörter (Englisch): Vapor pressure , Chemical vapor deposition , Cobalt , Thin films , Thermogravimetry

 

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