Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bauer, Jörg ; Kern, Dominik ; Ayhan, Serdal ; Scherr, Steffen ; Fleischer, Jürgen ; Seemann, Wolfgang ; Zwick, Thomas
Planar positioning stage for micro machining
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Technische Mechanik/Dynamik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0944-6524 | |
| URL/URN: | doi:10.1007/s11740-013-0474-2 | |
| Quelle: | In: Production Engineering. - 7. 2013, 5, S. 511 - 516 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Dry slide bearings , Hydraulic feed unit , Positioning stage , Radar position sensor , Small machine tools |
