Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sorger, Alexander ; Auerswald, Christian ; Shaporin, Alexey ; Freitag, Markus ; Dienel, Marco ; Mehner, Jan
Design, modeling, fabrication and characterization of a MEMS acceleration sensor for acoustic emission testing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=6626869 | |
| Quelle: | The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII),16-20 June 2013, Barcelona, Spain, Pages 726 - 729 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , acceleration sensor , acoustic emission , vibration |
