Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kallis, Klaus T. ; Horstmann, John Thomas ; Fiedler, Horst L.
Parameter fluctuations in multiple patterned deca-nm scaled CMOS structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 1661-9897 | |
| URL/URN: | doi:10.4028/www.scientific.net/JNanoR.17.157 | |
| Quelle: | In: Journal of Nano Research. - 17. 2012, S. 157 - 163 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | multiple patterning , threshold fluctuations , nm transistor , ULSI CMOS |
