Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Besser, Jan ; Baum, Mario ; Weimer, Maik ; Gessner, Thomas ; Sanchez-Ordonez, Samuel ; Thanner, Christine ; Vetter, Christian
Thermal and UV nanoimprint lithography for applications from the micro to the nano scale
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3423-8 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration 2012 Zurich. - Berlin Offenbach : VDE Verlag GmbH, 2012, CD-ROM | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | nanoimprint lithography |
