Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ; Mehner, Jan ; Shende, Milind Ashok ; Markert, Erik ; Heinkel, Ulrich ; Wagner, Christian ; Gessner, Thomas
System level modelling of CNT based mechanical sensor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Schaltkreis- und Systementwurf | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9783000391620 | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, 23./24.10.2012, Chemnitz, 2012 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , NEMS , CNT , system level modelling |
