Hackert-Oschätzchen, Matthias ; Penzel, Michael ; Plänitz, Philipp ; Schubert, Andreas
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-0-9839688-7-0 | |
| Quelle: | COMSOL Conference, 10.-12.10.2012, Milan, Italy, on CD, 5 pages |
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