Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wiemer, Maik ;
Wuensch, Dirk ;
Brauer, Joerg ;
Gessner, Thomas
Ramm, Peter; Lu, James Jian-Qiang; Taklo, Maaike M. V.
Chapter 6: Plasma-Activated Bonding
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-527-32646-4 | |
| URL/URN: | doi:10.1002/9783527644223.ch6 | |
| Quelle: | In: Ramm, Peter; Lu, James Jian-Qiang; Taklo, Maaike M. V. : Handbook of Wafer Bonding. - 1. Auflage. - Weinheim, Germany : Wiley-VCH, 2012, S. 101 - 118 |
