Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Tonndorf, Philipp ; Hietschold, M. ; Schulze, Steffen ; Erben, J.-W. ; Korodi, I.
Low Energy SEM - High Resolution, Low Charging, Low Damage
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.mc2011.de/ | |
Quelle: | Microscopy Conference 2011 - MC 2011, Kiel (Germany), 2011 Aug 28 - Sep 2; Poster Presentation, 2011 |