Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Szeghalmi, A. ; Arnold, M. ; Berger, A. ; Schammelt, N. ; Füchsel, K. ; Knez, M. ; Kley, E.B. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Tünnermann, A.
Atomic Layer Deposition of Iridium Thin Films and their Application in Gold Electrodeposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0277-786X | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.896818 | |
| Quelle: | Proceedings of SPIE - International Society for Optical Engineering, 2011 |
