Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Pezoldt, J. ; Yankov, R.A. ; Werninghaus, T. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Fukarek, W. ; Teichert, G. ; Lübbe, M. ; Skorupa, W.
Structural and Compositional Characterisation of 6H-SiC Implanted with N+ and Al+ Ions Using Optical Methods
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0925-9635 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/S0925-9635(98)00307-0 | |
| Quelle: | In: Diamond and Related Materials. - 8. 1999, 2-5, S. 346 - 351 |
