Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Otto, Thomas ;
Saupe, Ray ;
Weiß, Alexander ;
Stock, Volker ;
Gessner, Thomas
Gessner, Thomas (Hrsg.)
Packaging aspects of MEMS-based optical systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3009-4 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration 2007. - 1. - Berlin : VDE-Verlag, 2007, S. 605 - 607 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Packaging MEMS |
