Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ; Mehner, Jan ; Gessner Thomas ; Dötzel, Wolfram
Application of Higher Order Derivatives Method to Parametric Simulation of MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1-4244-1105-X | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ESIME.2007.359962 | |
| Quelle: | Proceedings of 2007 International ConferenceThermal, Mechanical and Multiphysics Simulation and Experiments in Micro-Electronics and Micro-Systems. - London : EuroSimE, 2007, S. 588 - 593 |
