Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, S. ;
Kaufmann, Christian ;
Hahn, R. ;
Specht, H. ;
Gessner, Thomas
Michel, Bernd
Performance and Reliability Test of MEMS Optical Scanners
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 1619-2486 | |
| Quelle: | Micromaterials and nanomaterials. - Dresden : goldenbogen verlag, Dresden, 2009, 9, S. 286 - 290 |
