Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, C. ; Wiemer, M. ; Werner, T. ; Otto, T. ; Gessner, T.
Two Lithography-Based Technologies for the Fabrication of Submicron to Deep-Submicron Structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-3-8007-3155-8, ISSN: 1432-3419 | |
| Quelle: | GMM Conference on Micronano Integration, Seeheim (Germany), 2009 Mar 12 -13 |
