Sorger, Alexander ; Shaporin, Alexey ; Mehner, Jan
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-029135-7 | |
| Quelle: | 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 5./6. November, Chemnitz, S. 90 - 95. - Chemnitz : Technische Universität Chemnitz, 2009 |
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