Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Norman, J.A.T. ; Perez, M. ; Schulz, S.E. ; Waechtler, T.
New precursors for CVD copper metallization.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| Quelle: | Materials for Advanced Metallization - MAM, 2008 Mar 2-5, Dresden (Germany); In: Microelectronic Engineering, 85 (2008), pp. 2159-2163 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | CVD , chemical vapor deposition , metallization |
