| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Buch (Autorenschaft) | |
| ISBN/ISSN: | ISBN-10: 3-639-05903-4 | |
| Quelle: | Saarbrücken : VDM Verlag Dr. Müller, 2008. - 180 S. |
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