Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ; Mehner, Jan ; Dötzel, Wolfram
Application of Higher Order Sensitivity FE Method for Parametric MEMS Design
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3081-0 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration 2008 - 2nd European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICS and Electronic Components. 9.-11. April 2008. Barcelona, Spain., 2008. - S. 457 - 459 |
