Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Frühauf, Joachim ; Seifert, Mario ; Sorger, Alexander
Application of Etched Silicon Springs as Guiding Mechanism for the Stylus in Tactile Surface Profilers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8322-6912-8 | |
| Quelle: | XII. International Colloquium on Surfaces, January 28 - 29 2008, Chemnitz, Germany ; Proceedings. - Shaker-Verlag, 2008. - S. 296 - 305 |
