Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ; Forke, R. ; Dienel, M. ; Naumann, M. ; Scheibner, D. ; Dotzel, W. ; Mehner, J.
Technology Dependent Design and Characterization of Silicon Vibration Sensors with Linear Tunable Band Selectivity.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-00-025217-4 | |
| Quelle: | Dresden, Germany : Proc. of Eurosensors XXII, 2008. - pp. 605-608 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS vibration sensor , FE simulation , tuneable resonance frequency |
