Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jäckel, Linda
Schulz, Stefan E. (Prof. Dr.) ; Devi, Anjana (Prof. Dr.) (Gutachter)
Process and equipment modeling for chemical thin film deposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Fakultät: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Schulz, Stefan E. (Prof. Dr.) | |
| Quelle: | 2025. - 137 S. | |
| Sprache: | englisch | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 19.11.2024 |
