Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kaupmann, Philip* ; Pinter, Stefan ; Franz, Jochen ; Streiter, Reinhard ; Otto, Thomas
A Novel Indirect Quasi-Static Actuation Concept for 2D MEMS Micromirrors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1057-7157 ; 1941-0158 | |
| DOI: | doi:10.1109/JMEMS.2019.2897755 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8645793 | |
| Quelle: | In: Journal of Microelectromechanical Systems (IEEE/ASME). - IEEE Xplore Digital Library. - 28. 2019, 2, S. 226 - 234 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , micromirror , static actuation , gyroscopic actuation |
