Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Moradi, Somayeh* ; Bandari, Nooshin ; Bandari, Vineeth Kumar ; Zhu, Feng* ; Schmidt, Oliver G.
A Novel Large-Scale, Multilayer, and Facilely Aligned Micropatterning Technique Based on Flexible and Reusable SU-8 Shadow Masks
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 2: | Professur Materialsysteme der Nanoelektronik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2365-709X | |
| DOI: | doi:10.1002/admt.201900519 | |
| Quelle: | In: Advanced Materials Technologies. - Wiley. - 4. 2019, 11, 1900519 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | alignment technique , multilayer micropatterning , plastic photomask , SU‐8 shadow mask , wafer‐scale micropatterning | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
