Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Parsi Sreenivas, Vijay V. ; Winkler, Andreas ; Harazim, Stefan ; Schmidt, Oliver G.
Ultraviolet transmittance of SU-8 photoresist and its importance in multi-wavelength photolithography
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Materialsysteme der Nanoelektronik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2166-2746 | |
| DOI: | doi:10.1116/1.5033996 | |
| Quelle: | In: AVS Journal of Vacuum Science & Technology B. - AIP Publishing, LLC . - 36.2018, 5 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Spin coating , Light sensitive materials , Photolithography , Ultraviolet light , Chemical compounds and components , Photoinitiator , Optical properties |
