Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Grosse, Corinna* ; Abo Ras, Mohamad ; Varpula, Aapo ; Grigoras, Kestutis ; May, Daniel ; Wunderle, Bernhard ; Chapuis, Pierre-Olivier ; Gomès, Séverine ; Prunnila, Mika
Microfabricated sensor platform with through-glass vias for bidirectional 3-omega thermal characterization of solid and liquid samples
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0924-4247 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.sna.2018.05.030 | |
| Quelle: | In: Sensors and Actuators A: Physical. - Elsevier BV. - 278. 2018, S. 33 - 42 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Thermal sensors , Bidirectional 3-omega method ,Thermal characterization platform ,Thermal conductivity ,Thermal diffusivity , Microfabrication , Atomic layer deposition , ALD |
