Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Reuther, Georg M. ; Pufall, Reinhard* ; Wunderle, Bernhard
Low cycle fatigue of aluminium thin films on vibrating silicon MEMS cantilevers: Highly accelerated stress test and finite element modelling
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5386-2359-6 ; USB ISBN: 978-1-5386-2358-9 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5386-2360-2 | |
| DOI: | doi:10.1109/eurosime.2018.8369941 | |
| Quelle: | 19th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), April 15-18, 2018, Toulouse, France. - IEEE, 2018 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS cantilever , Aluminium thin films , fatigue , vibration , reliability , electronic packaging |
