Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Louriki, Latifa* ; Staffeld, Peter ; Kaelberer, Arnd ; Otto, Thomas
Silicon Sacrificial Layer Technology for the Production of 3D MEMS (EPyC Process)
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 2504-3900 | |
DOI: | http://dx.doi.org/10.3390proceedings1040295 | |
Quelle: | Eurosensors Conference, Paris (France), 2017 Sep 3-6, Proceedings 2017. - MDPI AG. - 1.2017, 4, S. 295 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | 3D MEMS , EPyC process , silicon sacrificial layer technology | |
OA-Lizenz | CC BY 4.0 |