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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Louriki, Latifa* ; Staffeld, Peter ; Kaelberer, Arnd ; Otto, Thomas

Silicon Sacrificial Layer Technology for the Production of 3D MEMS (EPyC Process)


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 2504-3900
DOI: http://dx.doi.org/10.3390proceedings1040295
Quelle: Eurosensors Conference, Paris (France), 2017 Sep 3-6, Proceedings 2017. - MDPI AG. - 1.2017, 4, S. 295
Freie Schlagwörter (Englisch): 3D MEMS , EPyC process , silicon sacrificial layer technology
OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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