Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Louriki, Latifa* ; Staffeld, Peter ; Kaelberer, Arnd ; Otto, Thomas
Multilayer Micromechanics Process with Thick Functional Layers (EPyC40)
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 2504-3900 | |
Quelle: | Eurosensors Conference, Paris (France), 2017 Sep 3-6, Proceedings 2017. - MDPI AG. - 1.2017,4, S. 296 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | EPyC40 , 3D MEMS , comb structure | |
OA-Lizenz | CC BY 4.0 |