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Universitätsbibliothek
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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Louriki, Latifa* ; Staffeld, Peter ; Kaelberer, Arnd ; Otto, Thomas

Multilayer Micromechanics Process with Thick Functional Layers (EPyC40)


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 2504-3900
Quelle: Eurosensors Conference, Paris (France), 2017 Sep 3-6, Proceedings 2017. - MDPI AG. - 1.2017,4, S. 296
Freie Schlagwörter (Englisch): EPyC40 , 3D MEMS , comb structure
OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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