Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kühn, Ralf ; Berger, Thomas* ; Prieske, Markus ; Börner, Richard ; Hackert-Oschätzchen, Matthias ; Zeidler, Henning ; Schubert, Andreas
Deposition and micro electrical discharge machining of CVD-diamond layers incorporated with silicon
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1551-7616 | |
| URL/URN: | doi:10.1063/1.5008057 | |
| Quelle: | In: AIP Conference Proceedings. - A I P Publishing LLC. - 1896. 2017, 1 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Machining , Corrosion , Friction , Laser applications , Materials forming |
