Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nestler, Daisy Julia ;
Steinhäuser, Siegfried ;
Lampke, Thomas
Zoch, Hans-Werner ; Spur, Günter (Hrsg.)
Beschichten aus dem gas- oder dampfförmigen Zustand : Kapitel 3.6: Beschichten durch chemisches Abscheiden aus der Gasphase
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde | |
| Institut 2: | Professur Werkstoff- und Oberflächentechnik | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-446-42779-2 | |
| Quelle: | In: Zoch, Hans-Werner ; Spur, Günter (Hrsg.): Handbuch: Wärmebehandeln und Beschichten. - München : Carl Hanser Verlag, 2015, S. 94 - 100 |