Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Yang, Wen ; Fronk, Michael ; Geng, Yang ; Chen, Lin* ; Sun, Qing-Qing* ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Zhou, Peng ; Zahn, Dietrich R. T. ; Zhang, David Wei
Optical Properties and Bandgap Evolution of ALD HfSiOx Films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1556-276X | |
| URL/URN: | doi:10.1186/s11671-014-0724-z | |
| Quelle: | In: Nanoscale Research Letters. - 10.2015 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | HfSiOx VUV , Bandgap | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
