Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Otto, Thomas ; Saupe, Ray ; Stock, Volker ; Seider, Thomas ; Gessner, Thomas
A new generation of MEMS middle infrared spectrometers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-0-8194-9890-8 | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.2042679 | |
| Quelle: | MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco (USA), 3 - 6 February 2014; Proceedings of SPIE , 8977 (2014) | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MOEMS , MEMS , micromechanical systems , spectromete r, sensors |
