Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sorger, Alexander ; Auerswald, Christian ; Shaporin, Alexey ; Dienel, Marco ; Mehner, Jan
Design, Characterization and Test of a MEMS Acoustic Emission Sensor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-932434-78-5 | |
| Quelle: | In: Smart Systems Integration for Micro- and Nanotechnologies. - Dresden : Goldbogen Verlag, 2014, S. 147 - 154 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Acoustic Emission, Sensor, MEMS |