Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Masser, Robin ; Bräuer, Jörg ; Gessner, Thomas
Modelling the reaction behavior in reactive multilayer systems on substrates used for wafer bonding
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0021-8979 (print), 1089-7550 (online) | |
| URL/URN: | doi:10.1063/1.4885457 | |
| Quelle: | In: Journal of Applied Physics . - 115 . 2014 , 244311-1 - 244311-7 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | wafer bonding, |
