Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dhakal, Dileep ; Waechtler, Thomas ; E. Schulz, Stefan ; Mothes, Robert ; Lang, Heinrich ; Gessner, Thomas
In-situ XPS Investigation of the Surface Chemistry of a Cu(I) Beta-Diketonate Precursor and the ALD of Cu2O
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-147534 ; http://www.mam-conference.org/MAM2014/index.php?activ=home&content=mam2008.php | |
| Quelle: | Materials for Advanced Metallization (MAM 2014), March 2-5 2014, Chemnitz, Germany, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | In-situ XPS , Atomic Layer Depositon (ALD) , Copper Oxide (Cu2O) | |
| DDC-Sachgruppe: | Chemie, Ingenieurwissenschaften |
