Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dhakal, Dileep ; Waechtler, Thomas ; E. Schulz, Stefan ; Mothes, Robert ; Moeckel, Stefan ; Lang, Heinrich ; Gessner, Thomas
In-situ XPS Investigation of ALD Cu2O and Cu Thin Films after Successive Reduction
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | http://www.ald2014.org/ ; http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-147043 | |
| Quelle: | 14th International Conference in Atomic Layer Deposition, 15-18 June 2014, Kyoto, Japan, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Atomic Layer Deposition (ALD) , Cuprous Oxide (Cu2O) , X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) , Surface Chemistry | |
| DDC-Sachgruppe: | Chemie, Ingenieurwissenschaften |
