Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, Chenping ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Direct bonding with on-wafer metal interconnections
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0946-7076 (Print) 1432-1858 (Online) | |
| URL/URN: | doi:10.1007/s00542-005-0034-6 | |
| Quelle: | In: Microsystem Technologies. - 12 . 2006, 5, S. 391 - 396 |