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Universitätsbibliothek
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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Jia, Chenping ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas

Direct bonding with on-wafer metal interconnections


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 0946-7076 (Print) 1432-1858 (Online)
URL/URN: doi:10.1007/s00542-005-0034-6
Quelle: In: Microsystem Technologies. - 12 . 2006, 5, S. 391 - 396

 

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