Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Freitag, H. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Lang, H. ; Buschbeck, R. ; Jakob, A.
Verfahren zur Herstellung von Silizium-basierenden Schichten oder Silizium-basierenden Strukturen unter Verwendung von Silizium-enthaltenen Tinten
A Method for Producing Silicon Based Layers and Silicon Based Structures Using Silicon Containing Inks
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | DE102010037278A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 08.03.2012 | |
| Internationale Patentklassifikation | C23C 18/00 |
