Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Geidel, Sascha ; Enderlein, Tom ; Nestler, Jörg ; Morschhauser, Andreas ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Degree of integration enhancement of membrane actuators in LOCs utilizing laser technology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3555-6 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, Aachen (Germany), 2013 Oct 14-16; Proceedings, pp 717-720 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | membrane actuators |
