Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Loschek, Sergei ; Hermann, Sascha ; Haibo, Yu ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, T.
Structuring of carbon nanotubes for field emission based movement sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4673-1589-0 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/SSD.2012.6198083 | |
| Quelle: | 9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices (SSD), Chemnitz (Germany), March 20-23, 2012 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | carbon nanotubes , field emission based movement sensors |