Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Geidel, Sascha ; Enderlein, Tom ; Morschhauser, Andreas ; Nestler, Jörg ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Laserbasierter Multilayer-Fügeprozess zur Erzeugung heterogener und druckstabiler mikrofluidischer Systeme
Laser-based multilayer joining process for heterogeneous and pressure stable microfluidic systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-039162-0 | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24, S. 67 - 69 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | multilayer joining process , heterogeneous pressure stable microfluidic systems |
