Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
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1 | Development of an e-beam/i-line stepper intra-level mix and match approach with the photoresist mr-EBL 6000.5 for PIC related structures such as waveguides, ring resonators and coupling structures | Reinhardt, Markus et al. | 2023 |
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