Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
---|---|---|---|
1 | A Hybrid Chemical Mechanical Planarization (CMP) Model for Time-Dependent, Spatial Material Removal Rate Optimization | Rothe, Tom* et al. | 2022 |
Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
Anzahl der Dokumente: | 1 |